Обеспечение единства измерений геометрических параметров шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне методами интерферометрии высокого разрешения: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.11.15 Метрология / Золотаревский Сергей Юрьевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Золотаревский, С. Ю. |
Опубликовано: | Москва , 2015 |
Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|