Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Тысченко Ида Евгеньевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тысченко, И. Е. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2015 |
| Физические характеристики: |
40 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||