|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001214284 |
| 005 |
20151007155218.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20150817d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника
$f Замчий Александр Олегович
$g [Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2015
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2465285
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ АКТИВАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar1643658
$a НАНОНИТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2775397
$a СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.47
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.13.21
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.30
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.14
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9469265
$a Замчий
$g Александр Олегович
$b А. О.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150817
$g psbo
|
