Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Замчий Александр Олегович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Замчий, А. О. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2015 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||