|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001199293 |
| 005 |
20151008100204.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20150602d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC) 1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Харламов Николай Александрович
$g [Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2015
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c табл., ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—25 (20 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21869
$a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32980
$a ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3341921
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.17.27
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9024045
$a Харламов
$b Н. А.
$g Николай Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150602
$g psbo
|
