Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC) 1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Харламов Николай Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Харламов, Н. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2015 |
| Физические характеристики: |
25 с. : табл., ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||