Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики / Цыбин Николай Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//191490(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Цыбин, Н. Н.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2015
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001198670
005 20150702133016.0
100 # # $a 20150529d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики  $f Цыбин Николай Николаевич  $g [Институт физики микроструктур Российской академии наук] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2015 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21767  $a ОПТИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21843  $a ОПТИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2166834  $a СВЕТОФИЛЬТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1718489  $a АСТРОНОМИЧЕСКАЯ ОПТИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2473268  $a ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9136866  $a ЭКСТРЕМАЛЬНЫЙ УЛЬТРАФИОЛЕТ  $2 DVNLB 
610 0 # $a абсорбционные светофильтры 
610 0 # $a абсарбцыйныя святлафільтры 
686 # # $a 29.31.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.41  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar9010369  $a Цыбин  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20150529  $g psbo