Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики / Цыбин Николай Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Цыбин, Н. Н. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2015 |
| Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||