Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Трапашко, Г. А. |
Опубликовано: | Минск , 2014 |
Физические характеристики: |
141 л. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|