Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//4996(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Трапашко, Г. А.
Опубликовано: Минск , 2014
Физические характеристики: 141 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

Зал диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно Без заказа

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26Н//4996(039) Зал диссертаций (020) 02 СВОБОДЕН БЕЗ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОГО ЗАКАЗА