Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Трапашко, Г. А. |
| Опубликовано: | Минск , 2014 |
| Физические характеристики: |
141 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||