|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001196482 |
| 005 |
20171109093156.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20150520h20142014k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Трапашко Георгий Алексеевич
$g научный руководитель Аваков С. М.
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 141 л.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 109—117
|
| 328 |
# |
0 |
$d Защищена 27.11.2014, утверждена 11.03.2015
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001146376
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5236997
$a ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2686716
$a РАЗМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36400
$a ФОТОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14544
$a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21875
$a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1959356
$a ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar58871
$a СВЕТОДИОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12967910
$a КАЛИБРОВКА СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:658.562:535.24.08(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 90.27.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar8159825
$a Трапашко
$b Г. А.
$g Георгий Алексеевич
$c кандидат технических наук
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-369599
$a Аваков
$b С. М.
$g Сергей Мирзоевич
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1955
$4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20141104
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/48703/2/default.htm
|
