Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Морозова Александра Александровна
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Морозова, А. А. |
| Wydane: | Санкт-Петербург , 2015 |
| Opis fizyczny: |
18 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||