Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Морозова Александра Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//190008(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Морозова, А. А.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2015
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//190008(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:92 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал