Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Морозова Александра Александровна
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Морозова, А. А. |
| Апублікавана: | Санкт-Петербург , 2015 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
18 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||