|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001161873 |
| 005 |
20150326161232.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20150110d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
$f Мороз Андрей Викторович
$g [Поволжский государственный технологический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Казань
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14—16
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39074
$a ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171255
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334070
$a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5200085
$a НИТРИД АЛЮМИНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.13
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar8371625
$a Мороз
$b А. В.
$g Андрей Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150110
$g psbo
|
