Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Мороз Андрей Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мороз, А. В. |
| Опубликовано: | Казань , 2014 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||