Электрохимическое и химическое формирование наноразмерных межсоединений элементов кремниевых интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Дубин Валерий Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//4742(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Дубин, В. М.
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 172, [1] л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
НАНОСТРУКТУРЫ
УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ
НАНОПЛЕНКИ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ЭЛЕКТРОФОРЕЗ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ
СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
МЕЖСОЕДИНЕНИЯ (электротехн.)
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001141436
005 20220412162747.0
100 # # $a 20141020h20122014k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Электрохимическое и химическое формирование наноразмерных межсоединений элементов кремниевых интегральных микросхем  $e диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы  $f Дубин Валерий Михайлович  $g научный консультант Борисенко Виктор Евгеньевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2012 
215 # # $a 172, [1] л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 154—169 
328 # 0 $d Защищена 20.02.2014, утверждена 17.09.2014 
488 # 0 $1 001BY-RLST-kn-435717 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2375793  $a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1791918  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39282  $a ЭЛЕКТРОФОРЕЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2755678  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2764600  $a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10631450  $a МЕЖСОЕДИНЕНИЯ (электротехн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793:621.359.3(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.3(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.16.08  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-494512  $a Дубин  $b В. М.  $g Валерий Михайлович  $c доктор технических наук 
702 # 1 $3 BY-SEK-203658  $a Борисенко  $b В. Е.  $g Виктор Евгеньевич  $c доктор физико-математических наук, физик  $f род. 1951  $4 695 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20140124  $g psbo 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/44909/2/default.htm 

Схожие документы