Электрохимическое и химическое формирование наноразмерных межсоединений элементов кремниевых интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Дубин Валерий Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дубин, В. М. |
| Опубликовано: | Минск , 2012 |
| Физические характеристики: |
172, [1] л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||