Технология получения многослойных материалов для защиты интегральных микросхем от высокоскоростных потоков микрочастиц: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки / Овчинников Владимир Ильич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Овчинников, В. И. |
| Опубликовано: | Минск , 2013 |
| Физические характеристики: |
198, [1] л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||