Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.06 Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами / Йе Тун Тэйн
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Йе Тун Тэйн |
Опубликовано: | Москва , 2014 |
Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|