|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001073760 |
| 005 |
20180508172616.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140527d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
$f Карташов Дмитрий Александрович
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—25
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4055850
$a РЕНТГЕНОВСКАЯ РЕФЛЕКТОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21203
$a ОБРАБОТКА СИГНАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.45.39
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.13
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar13212445
$a Карташов
$b Д. А.
$g Дмитрий Александрович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140527
$g psbo
|
