Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Карташов Дмитрий Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карташов, Д. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2014 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||