Оборудование для производства микросхем / В. В. Демиденко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Информприбор , 1989 |
| Физические характеристики: |
13, [2] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 5-1989 |