Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мадвейко Сергей Игоревич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мадвейко, С. И. (род. 1984) |
| Опубликовано: | Минск , 2013 |
| Физические характеристики: |
148 л.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||