|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001043269 |
| 005 |
20140408114912.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140310d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Тарала Виталий Алексеевич
$g [Южный научный центр Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Нальчик
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 38, [1] с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 35—39
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4185320
$a АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18853
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2291006
$a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6349906
$a АЛМАЗОПОДОБНАЯ СТРУКТУРА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4552444
$a ХИМИЧЕСКОЕ ПАРОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.35
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-506771
$a Тарала
$b В. А.
$g Виталий Алексеевич
$c кандидат химических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140310
$g psbo
|
