Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Тарала Виталий Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тарала, В. А. |
| Опубликовано: | Нальчик , 2013 |
| Физические характеристики: |
38, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||