Разработка технологических основ формирования многослойных пленок с комплексом функциональных свойств на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп периодической системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.16.09 Материаловедение (машиностроение) / Каменева Анна Львовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каменева, А. Л. |
| Опубликовано: | Москва , 2013 |
| Физические характеристики: |
31 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||