Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Ноженков Михаил Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ноженков, М. В. (род. 1954) |
| Опубликовано: | Москва , 2013 |
| Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||