| Другие авторы/ответственные: |
Достанко, А. П. (род. 1937) , Аваков, С. М. (род. 1955) , Ануфриев, Л. П. (род. 1945) , Бордусов, С. В. (род. 1955) , Голосов, Д. А. (род. 1971) , Завадский, С. М. , Ковальчук, Н. С. , Коробко, А. О. , Ланин, В. Л. (род. 1948) , Мадвейко, С. И. (род. 1984) , Русецкий, В. А. (род. 1987) , Телеш, Е. В. , Титко, Е. А. , Трапашко, Г. А. |
| ISBN: |
978-985-6873-68-6
|
| Другие заглавия: |
The integrated technologies micro-and nanostructure layers
|
| Примечания: |
Аннотация на русском и английском языках
Библиография в конце глав
100 экз.
|
