Конструкторско-технологические основы создания микроэлектромеханических датчиков ускорения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Сан Мин Наинг

Сохранено в:
Шифр документа: 2//156535(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сан Мин Наинг
Опубликовано: Москва , 2013
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000961263
005 20130812145805.0
100 # # $a 20130627d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Конструкторско-технологические основы создания микроэлектромеханических датчиков ускорения  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Сан Мин Наинг  $g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2013 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 (12 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4841881  $a ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1992514  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22676  $a ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14436  $a КОНСТРУИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12334  $a ИСПЫТАНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.31.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.14.21  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar6352245  $a Сан Мин Наинг 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130627  $g psbo