Конструкторско-технологические основы создания микроэлектромеханических датчиков ускорения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Сан Мин Наинг
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Сан Мин Наинг |
Опубликовано: | Москва , 2013 |
Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|