Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Нагель Михаил Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//156337(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Нагель, М. Ю.
Опубликовано: Москва , 2013
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000959190
005 20201211114809.0
100 # # $a 20130621d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.04 Физическая электроника  $f Нагель Михаил Юрьевич  $g Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" 
210 # # $a Москва  $d 2013 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 22—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34076  $a ТОКАМАКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26737  $a ПЫЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171255  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37857  $a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13894500  $a ТЕРМОЯДЕРНЫЕ РЕАКТОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.27.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.47  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar6333386  $a Нагель  $b М. Ю.  $g Михаил Юрьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130621  $g RCR