Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Нагель Михаил Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нагель, М. Ю. |
| Опубликовано: | Москва , 2013 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||