|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000953413 |
| 005 |
20130719160418.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130607d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планаризации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования
$f Гладких Алексей Алексеевич
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4760361
$a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18658
$a МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2145
$a АЛГОРИТМЫ (мат., информатика)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25739
$a ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar6266286
$a Гладких
$b А. А.
$g Алексей Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130607
$g psbo
|
