Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планаризации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования / Гладких Алексей Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гладких, А. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2013 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||