Модификация приповерхностных слоев Si, GaN и α-C:H облучением ионами PFn средних энергий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальности 01.04.04Физическая электроника, 01.04.10 Физика полупроводников / Карабешкин Константин Валерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//152943(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Карабешкин, К. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2013
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000943852
005 20130725145106.0
100 # # $a 20130507d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Модификация приповерхностных слоев Si, GaN и α-C:H облучением ионами PFn средних энергий  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальности 01.04.04Физическая электроника, 01.04.10 Физика полупроводников  $f Карабешкин Константин Валерьевич  $g [Санкт-Петербургский государственный политехнический университет] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2013 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3251604  $a НИТРИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3211955  $a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4631320  $a ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a молекулярные ионы 
610 0 # $a малекулярныя іоны 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar6140396  $a Карабешкин  $b К. В.  $g Константин Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130507  $g psbo