|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000914411 |
| 005 |
20130403171542.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130225d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.08 Физика плазмы
$f Мучников Анатолий Борисович
$g [Институт прикладной физики РАН (г. Нижний Новгород)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Нижний Новгород
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 23, [1] с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—24
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1715174
$a СВЧ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3133807
$a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64787
$a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18853
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.09.39
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5979815
$a Мучников
$b А. Б.
$g Анатолий Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130225
$g psbo
|
