Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Мучников Анатолий Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мучников, А. Б. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2013 |
| Физические характеристики: |
23, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||