Анализ ключевых характеристик методов локальной диагностики полупроводников — метода наведенного рентгеновским пучком тока и рентгеновского флуоресцентного метода: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальности 01.04.07 Физика конденсированного состояния , 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Шабельникова Яна Леонидовна