Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//3814(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Колос, В. В.
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 109, [1] л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ
ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ
СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000899940
005 20220510092048.0
100 # # $a 20130121h20122012k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Колос Владимир Владимирович  $g научный руководитель Маркевич М. И.  $g Белорусский государственный университет, Открытое акционерное общество "ИНТЕГРАЛ" 
210 # # $a Минск  $d 2012 
215 # # $a 109, [1] л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 94—108 
328 # # $d Защищена 28.09.2012, утверждена 12.12.2012 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000827319 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1611433  $a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5226175  $a ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82848  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5245672  $a СИЛИЦИДЫ ТИТАНА   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1864334  $a ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3367523  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2423382  $a ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1787604  $a СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39094  $a ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27533  $a РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56685  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39128  $a ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793.74:661.882'065(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35.43  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar5323796  $a Колос  $b В. В.  $g Владимир Владимирович  $c кандидат физико-математических наук 
702 # 1 $3 BY-SEK-313424  $a Маркевич  $b М. И.  $g Мария Ивановна  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1956  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995  $4 595 
712 0 2 $3 BY-RLST-ar139098  $a "Интеграл"  $g научно-производственное объединение  $c Минск  $b Филиал "Транзистор"  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120803  $g psbo 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/41642/2/default.htm 

Схожие документы