Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колос, В. В. |
| Опубликовано: | Минск , 2012 |
| Физические характеристики: |
109, [1] л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||