Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов: диссертацияна соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//3764(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Ануфриев, Л. П. (род. 1945)
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 146 л.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
МЕМБРАНЫ (техн.)
НИТРИД КРЕМНИЯ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ
МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000887245
005 20140827122658.7
100 # # $a 20121217h20122012k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов  $e диссертацияна соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Ковальчук Наталья Станиславовна  $g научный руководитель Ануфриев Л. П.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2012 
215 # # $a 146 л. 
320 # # $a Библиография: л. 133—142 
328 # # $d Защищена 28.06.2012, утверждена 28.11.2012 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000803025 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1992514  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17860  $a МЕМБРАНЫ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20812  $a НИТРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82688  $a ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18162  $a МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592-416-022.53-047.84:661.687(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.76(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 681.586'272'51-181.48(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.13  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
702 # 1 $3 BY-SEK-ar5231082  $a Ковальчук  $b Н. С.  $g Наталья Станиславовна  $c кандидат технических наук  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120530  $g psbo 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/41527/2/default.htm 

Схожие документы