Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов: диссертацияна соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ануфриев, Л. П. (род. 1945) |
| Опубликовано: | Минск , 2012 |
| Физические характеристики: |
146 л.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||