Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.13 Электрофизика, электрофизические установки / Шевченко Евгений Федорович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шевченко, Е. Ф. |
| Опубликовано: | Екатеринбург , 2012 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||