Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.04 Физическая химия / Капинос Сергей Павлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//145509(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Капинос, С. П.
Опубликовано: Иваново , 2012
Физические характеристики: 15, [1] с., включая обложку : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000877247
005 20130125133340.0
100 # # $a 20121126d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук  $e специальность 02.00.04 Физическая химия  $f Капинос Сергей Павлович  $g [Ивановский государственный химико-технологический университет] 
210 # # $a Иваново  $d 2012 
215 # # $a 15, [1] с., включая обложку  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15—16 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3291362  $a ПЛАЗМОХИМИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20764  $a НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2893135  $a ГАЛОГЕНОВОДОРОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2073482  $a КИНЕТИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.15.30  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 02.00.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5483243  $a Капинос  $b С. П.  $g Сергей Павлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20121126  $g psbo