Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.04 Физическая химия / Капинос Сергей Павлович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Капинос, С. П. |
Опубликовано: | Иваново , 2012 |
Физические характеристики: |
15, [1] с., включая обложку : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|