Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Сочугов Николай Семенович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Сочугов, Н. С. |
| Publié: | Томск , 2012 |
| Description matérielle: |
42 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||