Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Сочугов Николай Семенович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Сочугов, Н. С. |
| 出版: | Томск , 2012 |
| 實物描述: |
42 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||