Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Сочугов Николай Семенович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сочугов, Н. С. |
| Опубликовано: | Томск , 2012 |
| Физические характеристики: |
42 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||