Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Сочугов Николай Семенович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Сочугов, Н. С. |
| Published: | Томск , 2012 |
| Physical Description: |
42 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||