|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000877025 |
| 005 |
20130301073930.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20121126d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника
$f Сочугов Николай Семенович
$g [Институт сильноточной электроникиСО РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 42 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 37—42 (62 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1578239
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777101
$a МАГНЕТРОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2328218
$a ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.02
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5482549
$a Сочугов
$b Н. С.
$g Николай Семенович
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20121126
$g psbo
|
